國內半導體靶材龍頭企業—寧波江豐電子材料股份有限公司經過嚴格、嚴謹的方案評估,選擇了由深圳模德寶科技有限公司提供的柔性自動化檢測產線,投產后,不僅將檢測效率提升了100%以上,還降低人為出錯率,提高了生產效率,并實現了24小時無人值守。這條柔性產線將有助于提升江豐電子在靶材市場的國際競爭力,打造“中國制造”名片。
隨著社會進入信息時代,人類生產生活對各類半導體芯片、液晶面板等產品的需求飛速增加,而靶材是加工制造這些產品不可或缺的關鍵材料之一。靶材是濺射薄膜制備的源頭材料,又稱濺射靶材,特別是高性能濺射靶材應用于電子元器件制造的物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)工藝,目前濺射工藝已廣泛應用于各種薄膜材料的工業化制備,是制備半導體晶圓、顯示面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關鍵材料。
全球靶材市場快速發展,2020年全球靶材市場規模達196億美元,同比增長15.29%,近年來我國靶材市場規模穩中有升,2016至2020年,中國靶材市場規模由177億元增長至237億元,年復合增長率約為17.5%。
寧波江豐電子材料股份有限公司(以下簡稱:江豐電子或公司)創建于2005年,專業從事超大規模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發生產,是國家科技部、發改委及工信部重點扶植的高新技術企業。公司已于2017年6月在深交所成功上市,股票代碼300666。
江豐電子具備較強的技術與產品創新能力,已經成為國內高純濺射靶材產業的領先者,并在全球范圍內與美國、日本跨國公司展開市場競爭,其研發生產的超高純金屬濺射靶材填補了中國在這一領域的空白,結束了產品依賴進口的歷史,滿足了國內企業不斷擴大的市場需求,經過數年發展,憑借著領先的技術水平和穩定的產品性能,公司已經成為中芯國際、臺積電、格羅方德、意法半導體、索尼、東芝、美光、SK 海力士、京東方、英飛凌(Infineon)、華星光電、北方華創、聯華電子、SunPower 等國內外知名廠商的高純濺射靶材供應商,業務范圍涉及半導體芯片、半導體設備、平板顯示器和太陽能電池等。

江豐電子作為國產集成電路材料的核心企業,得到了國家和行業的重視和肯定,先后承擔多項國家戰略發展科研及產業化項目,包括國家02重大專項、國家863重大專項、發改委高技術產業化項目等。公司的濺射靶材產品先后榮獲國家戰略性創新產品、2020年度國家技術發明二等獎、浙江省技術發明一等獎、中國半導體創新產品和技術獎等榮譽,公司曾獲國家技術創新示范企業、國家制造業單項冠軍示范企業、國家知識產權優勢企業、中國半導體材料十強企業、中國新型顯示產業鏈發展特殊貢獻獎、浙江省半導體行業標桿企業等榮譽。

當前,中國靶材制造業普遍是勞動密集型產業,工人依賴程度高、工人勞動強度大,加上工作環境極為惡劣,長期以來面臨招工難、招工貴以及難控制成本等痛點。對于不同種類的靶材產品,靶材產品在加工完成后,通常的檢測方法都是靠人工將靶材搬運上機床進行手工檢測,人工出檢測報告,這種做法增加了轉運時間和人力成本,大大制約了檢測效率,而且僅靠人工檢測的方法,容易造成漏檢和誤檢,不利于企業經濟效益的提高。
作為科技創新的主戰場,國產靶材行業的轉型升級需要依托前沿的科技力量和柔性生產線的智能化。國內半導體靶材龍頭企業的江豐電子基于以上痛點問題及重大發展戰略考量,為了提升靶材尺寸測量效率、縮短交付周期、緩解勞動力缺口壓力,希望引進柔性自動化檢測產線提升檢測效率、穩定和提升產品質量、縮短生產周期。
作為實現國產替代并爭取在國際市場上打造極具競爭力的靶材產品,模德寶深知解決方案的重要性,在認真聽取并了解江豐電子的具體需求后,項目人員深入現場調研,基于靶材產品的面積、重量及產品測量精度要求很高等因素考量,在檢測池空間有限的情況下,為減少人工參與測量及檢測效率的提升,為江豐電子提供了行業最新技術的柔性自動化檢測產線。

該柔性自動化檢測產線解決方案涵蓋了三坐標、機器人、料架及自動化系統等,可以實現和機器人、上下料系統以及相關傳感器的信息互動,并通過自動化系統,自動完成靶材產品測量,分析判斷產品檢測結果,根據需要生成檢測報告及數據,降低人工參與對數據影響的概率。

柔性自動化檢測產線由機器人及自動化設備代替人工,實現全自動的取件、檢測,省去了轉運至質檢部門進行檢測的過程,不僅解決了靶材測量精度的問題,大大提高了產品交付質量,實現機器人換人,將工人從繁重的體力勞動中解放出來,節約了人力成本,降低工人勞動強度,并且有效避免了人工主觀造成的漏檢和誤檢,真正解決了企業招工難的問題及經濟效益的提高。
模德寶提供的柔性自動化檢測產線作為江豐電子打造智能工廠的重要一環,不僅可促進江豐電子靶材產品在市場上更穩定、可靠,有助于提升江豐電子在靶材市場的國際競爭力,打造 “中國制造”名片。
這條自動化產線投產之后,我們的檢測效率可以說提升了100%以上,原來檢測產品,數據的傳輸和導出,都需要人工去操作的,這樣難免就會犯錯,所以現在實現全自動化之后,這個犯錯的概率就大大地降低了。
而且自動化產線投入之后,就不再特別依賴于一線員工的經驗和操作技能了,它可以一天無休24小時自動化運行,還保證了產品的高效率、高質量的穩定產出。
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